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题名/责任者:

真空镀膜技术与应用/主编田灿鑫

出版发行项:

武汉:武汉理工大学出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-5629-6979-2/CNY98.00

载体形态项:

234页:图;24cm

并列正题名:

Vacuum coating technology and application

个人责任者:

田灿鑫 主编

学科主题:

真空技术-镀膜

中图法分类号:

TN305.8

相关题名附注:

英文并列题名取自封面

书目附注:

有书目 (第233-234页)

提要文摘附注:

本书内容涵盖了真空镀膜的关键技术和实际应用。在介绍真空镀膜技术基础理论及应用的基础上，着重阐述了真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、等离子体增强化学气相沉积的原理、工艺、应用等，紧接着介绍了薄膜厚度的测量、薄膜分析检测技术等方面的内容，最后详细阐述了工模具真空镀膜生产线的具体工艺流程。

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