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题名/责任者:

钼靶材及其薄膜制备技术/谢敬佩 ... 等著

出版发行项:

北京:科学出版社,2022.07

ISBN及定价:

978-7-03-070385-9/CNY118.00

载体形态项:

x, 189页:图;24cm

并列正题名:

Preparation technology of molybdenum target and Its thin film

个人责任者:

谢敬佩 著

学科主题:

钼-金属薄膜-制备

中图法分类号:

TB383

题名责任附注:

题名页题其余责任者: 陈艳芳, 赵海丽, 柳培, 王爱琴, 王文焱等

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书从钼粉的制备和靶材的热加工工艺入手, 研究了原材料及还原工艺对钼粉性能的影响和烧结钼的热变形行为, 分析了变形温度、应变速率、变形量等对其动态再结晶和静态再结晶的影响, 确定了钼靶材的制备工艺, 实现了钼靶材的微观组织调控。本书还研究了钼靶材的原始组织状态、单层钼薄膜的热处理、双层钼薄膜的结构调控和工艺优化, 探究其对金属钼薄膜结构和光电性能的影响, 从而制备出具有良好光电性能和高黏结性能的钼薄膜。

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