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题名/责任者:

现代微电子制造技术全科工程师指南:热点问题及其机理解析/樊融融编著

出版发行项:

北京:中国水利水电出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-5226-1762-6/CNY129.80

载体形态项:

XII, 349页:图 (部分彩图);26cm

并列正题名:

Guide for general engineers in modern microelectronics manufacturing technology:hot issues and mechanism analysis

其它题名:

热点问题及其机理解析

个人责任者:

樊融融 编著

学科主题:

微电子技术-指南

中图法分类号:

TN4-62

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书从闸述微电子装备制造技术的过去、现在及未来开始, 以贯穿电子制造全过程的质量状态为脉络, 分析了电子系统从设计到微电子制造过程中所发生概率事件的形因、机理、危害及其对策, 提出了现代微电子制造技术全科工程师必须从系统角度出发, 熟悉现代微电子制造技术原理, 才能迅速寻求解决方案, 避免工艺过程被迫终止造成损失的理念。

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