MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- 制版技术/《半导体器件制造技术丛书》编写组编写
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,1972
- 载体形态项:
- 101页:图表;19cm
- 丛编项:
- 半导体器件制造技术丛书;8
- 团体责任者:
- 半导体器件制造技术丛书编写组 编写
- 学科主题:
- 半导体工艺
- 中图法分类号:
- TN305
- 科图法分类号:
- 73.67081
- 科图法分类号:
- 73.731081
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