MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：12
- 题名/责任者:
- 微机电技术/田文超, 娄利飞编著
- 出版发行项:
- 西安:西安电子科技大学出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-5606-3335-0/CNY50.00
- 载体形态项:
- 412页:图;23cm
- 丛编项:
- 新兴微纳电子技术丛书
- 个人责任者:
- 田文超 编著
- 个人责任者:
- 娄利飞 编著
- 学科主题:
- 微电机
- 中图法分类号:
- TM38
- 一般附注:
- “十二五”国家重点图书出版规划项目 陕西出版资金资助项目
- 责任者附注:
- 田文超, 西安电子科技大学教授、博士生导师, 电子封装技术国家级特色专业负责人, 精密仪器及机械学科负责人。
- 书目附注:
- 有书目 (第410-412页)
- 提要文摘附注:
- 本书系统地介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要内容, 包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用, RF MEMS及重构天线, MEME力学问题等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TM38/T844 | 000912914 | - |  工业技术书库
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可借 |
| TM38/T844 | 000912915 | - | 工业技术书库
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可借 |
| TM38/T844 | 000912916 | - | 工业技术书库
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可借 |
| TM38/T844 | 000912917 | - | 工业技术书库
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可借 |
| TM38/T844 | 000912918 | - | 工业技术书库
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可借 |
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