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题名/责任者:

气相沉积应用技术/王福贞, 马文存编著

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2007.1

ISBN及定价:

7-111-20065-9/CNY38.00

载体形态项:

411页:图;24cm

个人责任者:

王福贞 编著

个人责任者:

马文存 编著

学科主题:

气机沉积-基本知识

中图法分类号:

TF111.34

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书全书分两篇, 第一篇全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析; 第二篇介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、住处存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化、柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。

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