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题名/责任者:

微传感器与微执行器全书:ng/(美) 格雷戈里 T. A.科瓦奇著 张文栋等译

出版发行项:

北京:科学出版社,2003

ISBN及定价:

7-03-010565-6 精装/CNY78.00

载体形态项:

29, 673页:图;24cm

并列正题名:

Micromachined Transducers Sourcebook

个人责任者:

科瓦克斯, G. T. A. (Kovacs, Gregory T. A.) 著

个人次要责任者:

张文栋 译

学科主题:

传感器-微型

学科主题:

执行器-微型

中图法分类号:

TP212

中图法分类号:

TH86

书目附注:

有书目和索引

提要文摘附注:

本书共分九章, 涉及了MEMS技术的所有研究领域, 畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理, 并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。

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