MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：9
- 题名/责任者:
- 等离子体与成膜基础/(日)小沼光晴著 张光华编译
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,1994
- ISBN及定价:
- 7-118-01141-X/CNY11.40
- 载体形态项:
- 238页:图;19cm
- 个人责任者:
- 小沼光晴 著
- 个人次要责任者:
- 张光华 (半导体技术) 编译
- 学科主题:
- 等离子体物理学∶薄膜物理学
- 学科主题:
- 薄膜物理学∶等离子体物理学
- 中图法分类号:
- O53
- 中图法分类号:
- O484
- 科图法分类号:
- 53.815
- 一般附注:
- 各章末均附有参考文献
- 题名责任附注:
- 小沼光晴,日本著名学者、博士,德国斯图加特Max-Planck学会固体研究所任职
- 责任者附注:
- 小沼光晴，日本著名学者，从事等离子体CVD和固体研究的专家。
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 分:等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等9章。
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