MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：3
- 题名/责任者:
- 软X射线与极紫外辐射的原理和应用/(美) D. 阿特伍德著 张杰等译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2003
- ISBN及定价:
- 7-03-010813-2/CNY59.00
- 载体形态项:
- 458页:图;24cm
- 个人责任者:
- 阿特伍德, D. (Attwood, David) 著
- 个人次要责任者:
- 张杰 译
- 学科主题:
- X射线-研究
- 学科主题:
- 紫外辐射-研究
- 中图法分类号:
- O434
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍X射线与级紫外辐射的基本特性, 讨论它们在半导体芯片制备等多个领域的广泛应用, 并提供大量参考资料进行辅助讲述。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| O434/A795 | 000691431 | - |  自然科学书库
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可借 |
| O434/A795 | 000691432 | - | 自然科学书库
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可借 |
| O434/A795 | 000691433 | - | 自然科学书库
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可借 |
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