安徽理工大学图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

硅超大规模集成电路工艺技术:理论、实践与模型/(美) James D. Plummer, Michael D. Deal, Peter B. Griffin著 严利人, 王玉东, 熊小义等译

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2005

ISBN及定价:

7-121-01987-6/CNY68.00

载体形态项:

618页;26cm

并列正题名:

Silicon VLSI technology

其它题名:

理论实践与模型

丛编项:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

普卢默, J. D. (Plummer, James D.) 著

个人责任者:

迪尔, M. D. (Deal, Michael D.) 著

个人责任者:

格里芬, P. B. (Griffin, Peter B.) 著

个人次要责任者:

严利人 译

个人次要责任者:

王玉东 译

个人次要责任者:

熊小义 译

学科主题:

硅化物-应用-超大规模集成电路-教材

中图法分类号:

TN47

出版发行附注:

本书中文简体字翻译版由电子工业出版社和Pearson Education培生教育出版亚洲有限公司合作出版

责任者附注:

责任者Plummer规范汉译姓: 普卢默; 责任者Deal规范汉译姓: 迪尔; 责任者Griffin规范汉译姓: 格里芬

提要文摘附注:

本书详细介绍了与硅超大规模集成电路芯片生产制造相关的实际工艺技术, 而且还着重讲解了这些工艺技术背后的科学原理, 特别是对于每一步单项工艺技术, 书中通过工艺模型和工艺模拟软件, 非常形象直观地给出了实际工艺过程的物理图像。

豆瓣简介：