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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:2

题名/责任者:
制版技术/《半导体器件制造技术丛书》编写组编写
出版发行项:
北京:国防工业出版社,1972
载体形态项:
101页:图表;19cm
丛编项:
半导体器件制造技术丛书;8
团体责任者:
半导体器件制造技术丛书编写组 编写
学科主题:
半导体工艺
中图法分类号:
TN305
科图法分类号:
73.67081
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