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题名/责任者:

MEMS技术前沿与应用发展/尤政, 赵嘉昊编著

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2019

ISBN及定价:

978-7-118-11947-3/CNY188.00

载体形态项:

xiv, 348页, [8] 页图版:图 (部分彩图);24cm

并列正题名:

Frontier and application development of MEMS technology

丛编项:

微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列

个人责任者:

尤政 编著

个人责任者:

赵嘉昊 编著

学科主题:

微电机

中图法分类号:

TM38

一般附注:

“十二五”国家重点图书出版规划项目

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书是一部深入论述微机电系统 (MEMS) 技术发展前沿与应用的专著, 共分为12章。前3章从MEMS的基础概念、基本方法破题, 围绕MEMS的制造、集成、测试技术加以展开, 从硅/非硅微加工到封装、集成与测试技术, 并从军事航天的应用领域对MEMS制造与集成技术进行了分析及讨论; 第4章至第10章详细介绍了惯性MEMS技术、射频MEMS技术、微能源MEMS技术、生物MEMS技术、可穿戴/植入MEMS技术、空间MEMS技术以及极端环境应用的MEMS技术; 第11章和第12章分别讨论了MEMS技术的新原理新效应, 以及MEMS技术的产业化发展现状。

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