- 题名/责任者:
- 微纳制造/Mark J. Jackson [编著]
- 版本说明:
- 影印版
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2007.1
- ISBN及定价:
- 7-03-018243-x/CNY88.00
- 载体形态项:
- 699页:图;24cm
- 丛编项:
- 微纳技术著作丛书
- 个人责任者:
- 杰克逊 (Jackson, M. J.) 编著
- 学科主题:
- 纳米材料-加工工艺-英文
- 中图法分类号:
- TB383
- 出版发行附注:
- 本书影印版由Springer-Verlag(Berlin/Heidelberg/New York)独家出版发行
- 书目附注:
- 有书目和索引
- 提要文摘附注:
- 本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识, 以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术, 包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TB383/J466 | 000604759 | - |  工业技术书库
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可借 |
| TB383/J466 | 000604760 | - | 工业技术书库
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可借 |
| TB383/J466 | 000604761 | - | 工业技术书库
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可借 |
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