MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：9
- 题名/责任者:
- 微电子技术工程:材料、工艺与测试/刘玉岭, 檀柏梅, 张楷亮编著
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-120-00021-7/CNY68.00
- 载体形态项:
- 646页:图;26cm
- 其它题名:
- 材料、工艺与测试
- 丛编项:
- 微电子技术系列丛书
- 个人责任者:
- 刘玉岭 编著
- 个人责任者:
- 檀柏梅 编著
- 个人责任者:
- 张楷亮 编著
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 中图法分类号:
- TN4-51
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了微电子技术衬底材料性能、加工工艺与测试技术；共分15章，内容涉及硅单晶性质与加工技术、外延、氧化、扩散、制版、图形转移、刻蚀、多层布线、封装、键合、微机械加工及检测技术。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4-51/D948/1 | 000697777 | - |  工业技术书库
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可借 | |
| TN4-51/D948/1 | 000697778 | - | 工业技术书库
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可借 | |
| TN4-51/D948/1 | 000697779 | - | 工业技术书库
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可借 | 不定馆藏地 |
| TN4-51/D948/1 | 000697780 | - | 工业技术书库
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可借 | |
| TN4-51/D948/1 | 000697781 | - | 工业技术书库
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可借 |
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