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题名/责任者:

氮化铝单晶材料生长与应用/徐科, 黄俊编著

出版发行项:

西安:西安电子科技大学出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-5606-6283-1 精装/CNY108.00

载体形态项:

175页, [2] 页图版:图 (部分彩图);25cm

并列正题名:

Aluminum nitride single crystal growth and applications

丛编项:

宽禁带半导体前沿丛书

个人责任者:

徐科 编著

个人责任者:

黄俊 编著

学科主题:

氮化铝-单晶-半导体材料-研究

中图法分类号:

TN304.2

一般附注:

国家出版基金项目

书目附注:

有书目 (第167-175页)

提要文摘附注:

本书以作者多年的研究成果为基础, 大量扩展和补充了该领域的最新研究成果, 详细介绍了氮化铝单晶材料生长与器件的基本原理、技术工艺、最新进展及应用趋势。全书共七章, 包括氮化铝单晶材料的基本性质、材料生长的物理基础、材料的缺陷、物理气相传输法、氢化物气相外延法、金属有机物化学沉积法、和氮化铝器件应用。本书注重系统性、专业性和知识性, 基于详实的数据, 对氮化铝单晶材料生长技术方法及应用领域的发展进行了讨论。虽然本书所设计内容没有酒盖氮化铝单晶材料生长和器件的全部内容, 但其具有简明、扼要、前沿的特点。

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