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题名/责任者:

硅微机械传感器/M.Elwenspoek, R. Wiegerink著 陶家渠 ... [等] 译

出版发行项:

北京:中国宇航出版社,2003

ISBN及定价:

7-80144-606-2 精装/CNY35.00

载体形态项:

306页:图;21cm

并列正题名:

Mechanical microsensors

个人责任者:

埃尔文斯波克, M. (Elwenspoek, Miko), 1948- 著

个人责任者:

威杰林克, R. J. (Wiegerink, Remco J.), 1964- 著

个人次要责任者:

陶家渠 译

学科主题:

传感器-微型

中图法分类号:

TP212

出版发行附注:

据原书2001年版译出。本书中文简体字版由著作权人授权中国宇航出版社独家出版发行。

相关题名附注:

英文并列题名取自封面。

责任者附注:

责任者Elwenspoek规范汉译姓: 埃尔文斯波克; 责任者Wiegerink规范汉译姓: 威杰林克

书目附注:

有书目 (第278-306页)

提要文摘附注:

本书详细描述了多种硅微机传感器的工作原理。包括了MEM介绍、微机械加工工艺、膜和梁的力学、机械变形换能、力和压力传感器、加速度和角速度传感器、流体传感器、谐振传感器、接口电路，以及MEMS封装，非常适合高等院校相关专业的师生和从事硅微机械传感器研究的工程技术人员参考。

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