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题名/责任者:

晶圆制造自动化物料运输系统调度/张洁 … [等] 著

出版发行项:

武汉:华中科技大学出版社,2018.12

ISBN及定价:

978-7-5680-4787-6 精装/CNY88.00

载体形态项:

272页:图;25cm

并列正题名:

Wafer fabrication- Automation Material handling systems

个人责任者:

张洁 著

个人责任者:

秦威 著

个人责任者:

吴立辉 著

学科主题:

半导体工艺-自动化系统-物料输送系统-研究-英文

中图法分类号:

TN305

题名责任附注:

题名页题其余著者: Wei Qin, Lihui Wu, Junliang Wang, Youlong Lv, Xiaoxi Wang

相关题名附注:

版权页题名：晶圆制造自动化物料运输系统调度

责任者附注:

张洁，东华大学机械工程学院院长、教授、博士生导师。南京航空航天大学获博士学位，华中科技大学和香港大学博士后，法国里昂二大、美国加州大学柏克莱分校、美国伊利诺伊大学香槟分校高级访问学者，上海交通大学教授、博士生导师，中国人工智能学会智能制造专业委员会副主任，中国科学技术协会智能制造学会联合体专业委员会委员。目前从事智能制造、大数据与人工智能领域的教学和科研工作，正在主持国家自然科学基金重点项目“大数据驱动的智能车间运行分析与决策方法的研究”和国家重点研发计划项目“面向纺织行业的机器人自动化生产线示范应用”， 主持和参与工信部项目智能制造专项多项。已经主持完成了国家自然科学基金面上项目5项和国家科技部863计划5项，出版专著8部，发表论文两百余篇，获得专利和软件著作权近30项。

提要文摘附注:

本书在系统全面介绍AMHS调度问题、建模方法和调度方法的基础上，详细阐述了AMHS运行分析方法、Interbay和Intrabay物料运输系统的调度方法，以及晶圆制造AMHS调度性能评价方法等。除此之外，该书还从实际出发，详细介绍了AMHS调度系统支撑技术、系统开发和企业应用实例。本书不仅可作为国内外机械工程、工业工程、控制工程、管理工程等相关领域高校的研究生和科研人员的学习教材，也可为晶圆制造领域的从业人员提供生产指导，为制造业信息化的咨询和实施人员提供参考。

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