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题名/责任者:

金属-绝缘体-半导体微电子学系统的物理基础/(苏)利托夫琴科(Литовченко,В.Г.),(苏)戈尔班(Горбань,А.П.)著

出版发行项:

北京:科学出版社,1988

ISBN及定价:

7-03-000083-8/CNY6.10

载体形态项:

356页;19cm

并列正题名:

Основы　физики　микрозлектронных　систем　металл-дизлектрик-полчпроводник

个人责任者:

利托夫琴科 (Литовченко, В. Г.) 著

个人责任者:

叶汝求 (物理学) 译

个人责任者:

戈尔班 (Горбань,А.П.) 著

个人次要责任者:

黄振岗 (翻译) 译

学科主题:

MIS系统-微电子技术

中图法分类号:

TN432

科图法分类号:

73.7552

一般附注:

著者利托夫琴科原题:里托夫钦科

提要文摘附注:

本书探讨了制备绝缘体-半导体、金属-绝缘体-半导体型层状结构的各种方法,以及对其参数和电学性质的研究,并总结了对MIS系统非平衡过程的各种测试和分析方法等内容。

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