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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：13

题名/责任者:
半导体器件制造工艺/夏海良，张安康编
出版发行项:
上海:上海科学技术出版社,1986.4
ISBN及定价:
/CNY1.95
载体形态项:
175页;26厘米
个人责任者:
夏海良 编
个人责任者:
张安康
科图法分类号:
73.7315
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