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题名/责任者:

微纳制造科学与技术:从基本原理到工程应用/陈蓉 ... [等] 编著

出版发行项:

武汉:华中科技大学出版社,2024

ISBN及定价:

978-7-5680-9301-9/CNY49.80

载体形态项:

228页:图;26cm

并列正题名:

Micro/nano manufacturing science and technology:from fundamental principles to engineering applications

其它题名:

从基本原理到工程应用

丛编项:

21世纪高等学校机械设计制造及其自动化专业系列教材

丛编项:

华中科技大学“双一流”建设机械工程学科系列教材

个人责任者:

陈蓉 编著

个人责任者:

单斌 编著

个人责任者:

曹坤 编著

学科主题:

纳米技术

中图法分类号:

TB383

一般附注:

华中科技大学校级“十四五”本科规划教材 21世纪机械类教材

题名责任附注:

题名页题: 陈蓉, 单斌, 曹坤, 刘潇编著

相关题名附注:

英文并列题名取自封面

责任者附注:

陈蓉, 华中科技大学机械科学与工程学院教授、博士生导师, 华中科技大学机械科学与工程学院副院长。国家级创新领军人才、中国工程院中国工程前沿杰出青年学者。主要研究方向为原子层沉积原理方法与工艺装备。单斌, 华中科技大学材料科学与工程学院教授、博士生导师, 兼任中国科学院宁波材料技术与工程研究所客座研究员。主要研究方向是计算材料学、先进催化与原子层沉积的跨尺度模拟, 以及人工智能在材料中的应用。曹坤, 华中科技大学机械科学与工程学院副教授, 博士生导师。主要研究方向为微纳制造领域, 选择性原子层沉积原理、方法与装备等, 应用于集成电路、光通讯光芯片关键器件结构制造。

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书主要介绍了微纳制造科学与技术的基本理论、技术方法及工程应用, 分为7章。第1章简要介绍微纳制造科学与技术的定义、重要发展阶段、主要研究方法及其新兴发展趋势等; 第2章介绍微纳尺度的物理化学原理; 第3章介绍丰富多彩的微纳材料和结构; 第4章介绍多种多样的微纳尺度加工方法; 第5章讲述各种微纳尺度的表征技术; 第6章和第7章介绍微纳制造的相关应用, 涵盖了微电子、物联网、航空航天、光电显示、交通运输、医疗健康等诸多领域。

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