MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：3
- 题名/责任者:
- 氧化技术/《半导体器件制造技术丛书》编写组编
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,1971
- 载体形态项:
- 52页:图表;19cm
- 丛编项:
- 半导体器件制造技术丛书;5
- 团体责任者:
- 半导体器件制造技术丛书编写组 编
- 学科主题:
- 半导体工艺-氧化
- 中图法分类号:
- TN305.5
- 科图法分类号:
- 73.67081
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| 73.731081/3542Q6 | 001003530 |  密集书库
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可借 | 密集书库 | |
| 73.67081/3542Q1 | 001003531 | 密集书库
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可借 | 密集书库 | |
| TN305.5/B263 | 004134790 | 密集书库
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可借 | 密集书库 |
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