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题名/责任者:

微机电系统和微结构及其在航天中的应用/(美) 罗伯特·奥西安德, M. 安·加里森·达林, 约翰·L. 钱皮恩著 尤政译

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2013

ISBN及定价:

978-7-302-33485-9/CNY49.00

载体形态项:

17, 247页:图;26cm

统一题名:

MEMS and microstructures in aerospace applications

个人责任者:

奥西安德 (Osiander, Robert) 著

个人责任者:

达林 (Darrin, M. Ann Garrison) 著

个人责任者:

钱皮恩 (Champion, John L.) 著

个人次要责任者:

尤政 译

学科主题:

微电子技术-应用-航天-研究

学科主题:

微型-机械元件-应用-航天-研究

中图法分类号:

V4-05

出版发行附注:

由Taylor & Francis出版集团下, CRC出版公司授权出版 本书限中国大陆发行

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书共16章，主要内容包括：概论，微机电系统技术在航天任务中的应用前景，MEMS加工技术，空间环境因素对MEMS技术的影响，空间辐射影响和微机电系统，MEMS技术在空间系统的应用，微加工技术在科学仪器方面的应用，微机电系统在航天器通信中的应用，航天器热控制中的微系统，航天器制导、导航和控制中的微系统，微推进技术，空间应用的MEMS封装技术，关键性空间应用的处理与污染控制考虑，MEMS应用的材料选择，基于空间的MEMS设计和应用的可靠性测试，航天微机电系统与微结构的保障方法等。

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