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题名/责任者:

半导体制造与过程控制基础/(美) Gary S. May, Costas J. Spanos著 李虹, 肖春虹, 马俊婷译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2009

ISBN及定价:

978-7-111-25665-6/CNY60.00

载体形态项:

XI, 377页:图;24cm

统一题名:

Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control

丛编项:

国际信息工程先进技术译丛

个人责任者:

梅, (May, Gary S.) 著

个人责任者:

斯帕诺斯, (Spanos, Coatas J.) 著

个人次要责任者:

李虹 译

个人次要责任者:

肖春虹 译

个人次要责任者:

马俊婷 译

学科主题:

半导体工艺

中图法分类号:

TN305

相关题名附注:

英语并列题名取自封面

责任者附注:

责任者的规范中译姓 : 梅(May); 斯帕诺斯(Spanos)

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