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题名/责任者:

MEMS系统级建模/(德) 塔玛拉·贝克唐德, 加布里尔·施拉格, 冯丽红著 周再发, 李伟华, 黄庆安译

出版发行项:

南京:东南大学出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-5641-7263-3/CNY89.00

载体形态项:

[30], 442页:图;24cm

统一题名:

System-level modeling of MEMS

丛编项:

微纳系统系列译丛

个人责任者:

贝希托尔德 (Bechtold, Tamara) 著

个人责任者:

施拉格 (Schrag, Gabriele) 著

个人责任者:

冯丽红 著

个人次要责任者:

周再发 译

个人次要责任者:

李伟华 译

个人次要责任者:

黄庆安 译

学科主题:

微机电系统-系统建模

中图法分类号:

TH-39

责任者附注:

责任者Bechtold规范汉译姓: 贝希托尔德

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书论述了MEMS系统级建模技术，内容共分五部分。第一部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统的建模。第五部分介绍了商用软件中的系统级建模与仿真环境。

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