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MARC状态:审校 文献类型:西文图书 浏览次数:4

题名/责任者:
Vacuum technology, thin films, and sputtering : an introduction / R.V. Stuart.
出版发行项:
New York : Academic Press, 1983.
ISBN:
0126747806
载体形态项:
viii, 151 p. : ill. ; 21 cm.
个人责任者:
Stuart, R. V.
论题主题:
Vacuum technology.
论题主题:
Thin films.
论题主题:
Cathode sputtering (Plating process)
中图法分类号:
TB7
一般附注:
Includes index.
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TB7/S932 010079764   外文书库     可借 外文书库
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