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- 题名/责任者:
- 超大规模集成电路微细加工技术/(日)半导体研究振兴会编 高存贞等译
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,1981.4
- ISBN及定价:
- /CNY1.60
- 载体形态项:
- 235页;26厘米
- 个人次要责任者:
- 高存贞等 译
- 团体责任者:
- 半导体研究振兴会 编
- 科图法分类号:
- 73.7551
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