MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：3
- 题名/责任者:
- 芯片制造:半导体工艺制程实用教程/(美) Peter Van Zant著
- 版本说明:
- 英文版
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2021
- ISBN及定价:
- 978-7-121-40498-6/CNY109.00
- 载体形态项:
- 22, 546页:图;26cm
- 并列正题名:
- Microchip fabrication:a practical guide to semiconductor processing
- 其它题名:
- 半导体工艺制程实用教程
- 丛编项:
- 国外电子与通信教材系列
- 个人责任者:
- 赞特 (Zant, P. V.) 著
- 学科主题:
- 芯片-半导体工艺-高等学校-教材-英文
- 中图法分类号:
- TN305
- 中图法分类号:
- TN4
- 版本附注:
- 原著第六版
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工业技术书库