MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- 国外集成电路光刻制版自动化/上海市半导体器件科技情报协作网编
- 出版发行项:
- 上海:上海科学科技情报研究所,1977
- 载体形态项:
- 68页;26cm
- 团体责任者:
- 上海市半导体器件科技情报协作网 编
- 学科主题:
- 半导体工艺-电子束光刻
- 中图法分类号:
- TN305.7
- 科图法分类号:
- 73.7552
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| 73.7552/2343 | 001100051 |  密集书库
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可借 | 密集书库 | |
| 73.7552/2343 | 001100052 | 密集书库
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| 73.7552/2343 | 001100054 | 密集书库
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