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题名/责任者:

微系统设计/(美) Stephen D. Senturia著 刘泽文, 王晓红, 黄庆安等译

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2004

ISBN及定价:

7-121-00422-4/CNY59.00

载体形态项:

453页:图;26cm

并列正题名:

Microsystem design

丛编项:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

森特乌里亚, S. D. (Senturia, Stephen D.) 著

个人次要责任者:

刘泽文 译

个人次要责任者:

王晓红 译

个人次要责任者:

黄庆安 译

学科主题:

微电机-教材

学科主题:

微电子技术-教材

中图法分类号:

TM38

中图法分类号:

TN4

出版发行附注:

由Kluwer Academic Publishers授权电子出版社出版

责任者附注:

责任者Senturia规范汉泽姓: 森特乌里亚

书目附注:

有书目 (第444-453页)

提要文摘附注:

本书介绍涉及微机电系统设计的方法、理论和技术, 涉及MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟等，并辅助于实例研究。

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