微机电系统设计与制造

| 暂存书架(0) | 登录



MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:11

题名/责任者:
微机电系统设计与制造/刘晓明, 朱钟淦编著
出版发行项:
北京:国防工业出版社,2006
ISBN及定价:
7-118-04121-1 平装/CNY32.00
随书附盘:
载体形态项:
371页:图;23cm
并列正题名:
MEMS Design and manufacture
丛编项:
研究生系列规划教材
个人责任者:
刘晓明 编著
个人责任者:
朱钟淦 编著
学科主题:
微电机-高等学校-教材
中图法分类号:
TM38
中图法分类号:
TH-39
一般附注:
电子科技大学研究生系列教材建设项目
书目附注:
有书目 (第369-371页)
提要文摘附注:
本书概要介绍MEMS的设计与制造,全书共分7章,内容包括:MEMS的概论,MEMS的设计,集成电路 (IC) 基本制造技术,MEMS的制造技术,微传感器,微执行器以及MEMS的应用及检测技术。
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TH-39/L884 000723986  - 工业技术书库     可借
TH-39/L884 000723987  - 工业技术书库     可借
TH-39/L884 000723988  - 工业技术书库     可借
TH-39/L884 000723989  - 工业技术书库     可借
TH-39/L884 000723990  - 工业技术书库     可借
借阅趋势

同名作者的其他著作(点击查看)