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- 题名/责任者:
- 微机电系统设计与制造/刘晓明, 朱钟淦编著
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2006
- 载体形态项:
- 371页:图;23cm
- 并列正题名:
- MEMS Design and manufacture
- 丛编项:
- 研究生系列规划教材
- 个人责任者:
- 刘晓明 编著
- 个人责任者:
- 朱钟淦 编著
- 学科主题:
- 微电机-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TM38
- 中图法分类号:
- TH-39
- 一般附注:
- 电子科技大学研究生系列教材建设项目
- 书目附注:
- 有书目 (第369-371页)
- 提要文摘附注:
- 本书概要介绍MEMS的设计与制造,全书共分7章,内容包括:MEMS的概论,MEMS的设计,集成电路 (IC) 基本制造技术,MEMS的制造技术,微传感器,微执行器以及MEMS的应用及检测技术。
- 豆瓣简介:
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
TH-39/L884 | 000723986 | - | ![]() |
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TH-39/L884 | 000723987 | - | ![]() |
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TH-39/L884 | 000723988 | - | ![]() |
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TH-39/L884 | 000723989 | - | ![]() |
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TH-39/L884 | 000723990 | - | ![]() |
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