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- 题名/责任者:
- 硅微机械加工技术/(法) M. 埃尔温斯波克, (捷) H. 扬森著 姜岩峰译
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2007
- ISBN及定价:
- 7-5025-9258-X/CNY58.00
- 载体形态项:
- 348页:图;24cm
- 并列正题名:
- Silicon micromachining
- 个人责任者:
- 埃尔温斯波克 (Elwenspoek, M.) 著
- 个人责任者:
- 扬森 (Jansen, H.) 著
- 个人次要责任者:
- 姜岩峰 译
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- 国外优秀科技著作出版专项基金资助
- 提要文摘附注:
- 本书的主要内容包括：硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述；硅的表面微机械加工技术；LIGA工艺；硅-硅直接键合工艺；硅的干法腐蚀工艺及物理机制等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN4/A295 | 000639309 | - |  工业技术书库
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可借 |
| TN4/A295 | 000639310 | - | 工业技术书库
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可借 |
| TN4/A295 | 000639311 | - | 工业技术书库
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可借 |
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