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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:3

题名/责任者:
电子束扫描曝光技术/吴光华著
出版发行项:
北京:宇航出版社,1985.6
ISBN及定价:
/CNY3.35
载体形态项:
424页;19厘米
个人责任者:
吴光华
科图法分类号:
73.66
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