MARC状态：审校 文献类型：中文期刊 浏览次数：5
- 题名/责任者:
- 微细加工技术/该刊编委会
- 出版发行项:
- 长沙:该刊编辑部,1983～
- 统一书刊号:
- 43-1140
- 载体形态项:
- v.;26cm
- 起止卷期:
- 创刊号(1983,9)=[总1];1983,no.2(1983,12)～=总2～
- 并列正题名:
- Microfabrication technology
- 个人责任者:
- 孙洪涛 主编
- 团体责任者:
- 机械电子工业部长沙半导体工艺设备研究所 主办
- 学科主题:
- 电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 中图法分类号:
- TN4
- 科图法分类号:
- 73.7
- 一般附注:
- 根据1983, no.2 著录
- 出版周期附注:
- 季刊
- 内容附注:
- 论文及研制报告 译文 综述
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | |
| TN4/42 | 100029716 | 1999 1-4 |  密集书库
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阅览 | 密集书库 |
| TN4/42 | 100029000 | 1998 1-4 | 密集书库
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阅览 | 密集书库 |
| TN4/42 | 100082805 | 1997-98 各1-4 | 报刊阅览室
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阅览 | 报刊阅览室 |
| TN4/42 | 100026998 | 1997 1-4 | 密集书库
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阅览 | 密集书库 |
| TN4/42 | 100026682 | 1996 1-4 | 密集书库
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阅览 | 密集书库 |
| TN4/42 | 100026683 | 1996 1-4 | 密集书库
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阅览 | 密集书库 |
| TN4/42 | 100025430 | 1995 1-4 | 密集书库
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阅览 | 密集书库 |
| TN4/42 | 100025429 | 1994 1-4 | 密集书库
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| TN4/42 | 100082806 | 1993-94 各1-4 | 报刊阅览室
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阅览 | 报刊阅览室 |
| TN4/42 | 100024130 | 1993 1-3 | 密集书库
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