MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：8
- 题名/责任者:
- 微光学和纳米光学制造技术/(美) Shanalyn A. Kemme编著 周海宪, 程云芳译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2012
- ISBN及定价:
- 978-7-111-39448-8/CNY66.00
- 载体形态项:
- 196页:图;24cm
- 丛编项:
- 国际信息工程先进技术译丛
- 个人责任者:
- 凯米 (Kemme, Shanalyn A.) 编著
- 个人次要责任者:
- 周海宪 译
- 个人次要责任者:
- 程云芳 译
- 学科主题:
- 微光技术
- 学科主题:
- 纳米材料-应用-光学元件-制造
- 中图法分类号:
- TN223
- 中图法分类号:
- TH74-39
- 版本附注:
- 据Taylor and Francis Group.LLC.2010年英文版译出
- 提要文摘附注:
- 本书详细介绍了微米光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺，重点强调了关键性的专业技巧，提供了最新的技术信息，内容包括：面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN223/K519 | 000863684 | - |  工业技术书库
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可借 |
| TN223/K519 | 000863685 | - | 工业技术书库
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可借 |
| TN223/K519 | 000863686 | - | 工业技术书库
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| TN223/K519 | 000863687 | - | 工业技术书库
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| TN223/K519 | 000863688 | - | 工业技术书库
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