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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:4

题名/责任者:
微光机电系统/(日)泽田廉士, 羽根一博, 日暮荣治著 李元燮译
出版发行项:
北京:科学出版社,2005
ISBN及定价:
7-03-013313-7/CNY38.00
载体形态项:
347页;24cm
个人责任者:
泽田廉士
个人责任者:
羽根一博
个人责任者:
日暮荣治
学科主题:
光电子技术-机电一体化-研究
学科主题:
微电子技术-机电一体化-研究
中图法分类号:
TN2
中图法分类号:
TH-39
书目附注:
有书目 (第329-333页)
提要文摘附注:
本书由三篇组成, 第一篇重点介绍微光机电系统在各领域中的应用; 第二篇是微光机电系统光学; 第三篇主要介绍材料、制造、封装等。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TN2/Z783 000696319  - 工业技术书库     可借
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