MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：5
- 题名/责任者:
- 国外硅片加工处理自动化/半导体器件生产自动化专辑
- 出版发行项:
- 上海:上海科学技术情报研究所,1978.4
- ISBN及定价:
- /CNY0.75
- 载体形态项:
- 90页
- 科图法分类号:
- 73.73151
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| 73.73151/2343 | 001124092 |  密集书库
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