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题名/责任者:

微机电系统 (MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用/(美) 维卡斯·乔社里, (加) 克日什托夫·印纽斯基著 周海宪, 程云芳, 周华伟等译

版本说明:

第5版

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-111-64958-8/CNY139.00

载体形态项:

XXIII, 383页:图;26cm

其它题名:

元器件、电路及系统集成技术和应用

丛编项:

微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

个人责任者:

乔社里 (Choudhary, Vikas) 著

个人责任者:

印纽斯基 (Iniewski, Krzysztof) 著

个人次要责任者:

周海宪 译

个人次要责任者:

程云芳 译

个人次要责任者:

周华伟 译

学科主题:

微机电系统-研究

中图法分类号:

TH-39

出版发行附注:

本书由Taylor & Francis Group LLC出版公司授权出版

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

"本书汇集了微机电技术领域内的多位专家，力图解读过去十多年MEMS行业的爆炸式增长，以及在各种科学技术领域的广泛应用。本书由两部分十九章组成，既阐述了MEMS的理论基础和技术基础，同时也介绍了MEMS器件及系统的发展，并详细分析了相关系统的集成和在各学科领域的应用实例。

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