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题名/责任者:

RF MEMS器件设计、加工和应用/朱健编著

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2012

ISBN及定价:

978-7-118-08501-3/CNY99.00

载体形态项:

XXIII, 272页, 20页图版:图 (部分彩图);24cm

并列正题名:

RF MEMS devices design, fabrication, and application

丛编项:

微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列

个人责任者:

朱健 编著

学科主题:

微电子元件

中图法分类号:

TN4

一般附注:

国家科学技术学术著作出版基金资助出版

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书共分为11章, 主要内容包括: RF MEMS设计技术 ; RF MEMS工艺技术 ; RF MEMS开关 ; RF MEMS电容和电感 ; RF MEMS移相器 ; RF MEMS谐振器等。

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