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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：4

题名/责任者:
电子束刻蚀技术/(美)布鲁尔(Brewer,G.R.)著 杨树芬译
出版发行项:
北京:国防工业出版社,1986
载体形态项:
356页;20cm
并列正题名:
Electron-bean technology in microelectronic fabrication
个人责任者:
布鲁尔 (Brewer, G. R.), 1922-
个人次要责任者:
杨树芬 (电子)
学科主题:
电子束光刻
非控制主题词:
电刻
中图法分类号:
TN405.98
科图法分类号:
73.669
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TN405.98/B476 004133902   密集书库     可借 密集书库
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