MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：6
- 题名/责任者:
- Microsensors, MEMS, and Smart Devices/加德纳, 瓦拉旦, 韦德尔卡姆著
- 版本说明:
- 影印本
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-302-08122-0/CNY55.00
- 载体形态项:
- 503页:图;23cm
- 并列正题名:
- 微传感器、微机电系统和灵巧器件
- 丛编项:
- 国际知名大学原版教材.信息技术学科与电气工程学科系列
- 个人责任者:
- 加德纳, J.W. (Gardner, J.W.) 著
- 个人责任者:
- 瓦拉旦, V.K. (Varadan, V.K.) 著
- 个人责任者:
- 韦德尔卡姆, O.O. (Awadelkarim, O.O.) 著
- 学科主题:
- 微型-传感器-高等学校-教材-英文
- 学科主题:
- 微电机-高等学校-教材-英文
- 中图法分类号:
- TP212
- 中图法分类号:
- TM38
- 提要文摘附注:
- 本书主要论述微传感器及微机电系统的结构、原理、特性、制作方法与工艺技术。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TP212/J255 | 000692006 | - |  计算机科学书库
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可借 |
| TP212/J255 | 000692007 | - | 计算机科学书库
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可借 |
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