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题名/责任者:

微纳米加工技术及其应用/崔铮著

版本说明:

第4版

出版发行项:

北京:高等教育出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-04-054302-5 精装/CNY129.00

载体形态项:

549页:图;25cm

并列正题名:

Micro-nanofabrication technologies and applications

个人责任者:

崔铮 著

学科主题:

纳米材料-加工

中图法分类号:

TB383

责任者附注:

崔铮, 东南大学 (原南京工学院) 本科毕业 (1981年), 并获该校硕士 (1984年) 和博士 (1988年) 学位。目前担任中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所印刷电子学研究部主任。

书目附注:

有书目和索引

提要文摘附注:

本书集作者多年来的实践经验与研究成果, 综合介绍微纳米加工技术的基础, 包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术等。

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