MARC状态：审校 文献类型：西文图书 浏览次数：3
- 题名/责任者:
- Proceedings of the third symposium on plasma processing J. Dieleman edited
- 出版发行项:
- Pennington The Electro-Chemical Society Inc. 1982
- ISBN:
- 0O5353/005
- 载体形态项:
- 516p. 23cm.
- 个人责任者:
- Dieleman,J.
- 中图法分类号:
- TG17
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