MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：10
- 题名/责任者:
- 半导体集成电路制造技术/张亚非等著
- 出版发行项:
- 北京:高等教育出版社,2006
- ISBN及定价:
- 7-04-018299-8/CNY48.00
- 载体形态项:
- 390页:图;24cm
- 丛编项:
- 长江学者论丛
- 个人责任者:
- 张亚非 编著
- 学科主题:
- 半导体集成电路-集成电路工艺-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN430.5
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要讲述半导体集成电路的制造技术、既有基本原理和工艺技术的阐述。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN430.5/Z917 | 000761286 | - |  工业技术书库
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可借 |
| TN430.5/Z917 | 000761287 | - | 工业技术书库
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| TN430.5/Z917 | 000761288 | - | 工业技术书库
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| TN430.5/Z917 | 000761289 | - | 工业技术书库
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| TN430.5/Z917 | 000761290 | - | 工业技术书库
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