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题名/责任者:

微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用/顾长志等编著

版本说明:

第2版

出版发行项:

北京:科学出版社,2021

ISBN及定价:

978-7-03-069254-2/CNY128.00

载体形态项:

xi, 404页:图;24cm

丛编项:

中国科学院大学研究生教材系列

个人责任者:

顾长志 编著

学科主题:

纳米材料-新技术应用

中图法分类号:

TB383

书目附注:

有书目和索引

提要文摘附注:

本书简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与器件研究中的应用, 注重理论与实践的结合, 包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工, 以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用, 重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势, 在科学研究中的创新性应用与要注意的问题, 以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。

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