安徽理工大学图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

微电子制造科学原理与工程技术/(美) Stephen A. Campbell著 严利人, 梁仁荣译

版本说明:

第2版

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2023

ISBN及定价:

978-7-121-44746-4/CNY159.00

载体形态项:

11, 595页:图;26cm

统一题名:

Fabrication engineering at the micro-and nanoscale

丛编项:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

坎贝尔 (Campbell, Stephen A.), 1954- 著

个人次要责任者:

严利人 译

个人次要责任者:

梁仁荣 译

学科主题:

微电子技术-生产工艺-高等学校-教材

中图法分类号:

TN405

版本附注:

2023年第2版据原书第4版译出; 2008年第1版据原著第3版译出

出版发行附注:

美国Oxford University Press授权出版

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等，新增了制作纳米集成电路及其他半导体器件所需的各种基本单项工艺，还介绍了22nm的FinFET器件、氮化镓LED及薄膜太阳能电池、新型微流体器件的制造工艺流程。

豆瓣简介：