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题名/责任者:

薄膜微带电路工艺技术/白浩, 王平主编

出版发行项:

西安:西安电子科技大学出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-5606-5874-2 精装/CNY58.00

载体形态项:

157页:图;24cm

个人责任者:

白浩 主编

个人责任者:

王平 主编

学科主题:

薄膜集成电路

学科主题:

微波集成电路

中图法分类号:

TN45

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

薄膜微带电路是卫星电子设备、机载电子设备、移动终端、通信基站、测试仪器等所必需的重要组成部分。本书系统介绍了薄膜微带电路的制作流程、关键制成工艺、常见质量问题及解决方法等, 是编者多年从事薄膜微带电路制作、测试和试验所积累经验的汇总。本书共12章, 主要内容包括绪论、真空技术、常见基板表面成膜方法、薄膜电路基材、常用薄膜材料、光刻、电镀金、薄膜电阻、外形加工、薄膜工艺中的其他重点技术、薄膜电路常见质量问题及注意事项、薄膜微带电路质量检验方法。

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