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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：11

题名/责任者:
薄膜工艺/《薄膜工艺》编译组译校
出版发行项:
北京:科学出版社
ISBN及定价:
/CNY1.40
载体形态项:
509页
团体责任者:
《薄膜工艺》编译组 译校
学科主题:
混合集成电路
中图法分类号:
TN45
科图法分类号:
73.7115
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
73.7115/43 001010615   密集书库     可借
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TN45/B518 004138444   密集书库     可借 密集书库
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