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题名/责任者:

电子材料制造技术实验教程/贾利军, 韦敏, 赵晓辉主编

出版发行项:

北京:科学出版社,2019.06

ISBN及定价:

978-7-03-057650-7/CNY46.00

载体形态项:

x, 149页:图;24cm

丛编项:

电子科学与技术专业实验教材系列丛书

丛编项:

“电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心”系列规划教材

个人责任者:

贾利军 主编

个人责任者:

韦敏 主编

个人责任者:

赵晓辉 主编

学科主题:

电子材料-实验-教材

中图法分类号:

TN04-33

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书分上、下两篇, 上篇为电子薄膜制备与测试分析, 介绍真空技术、镀膜工艺、薄膜生长及其表征技术等基础知识, 具体阐述了直流磁控溅射镀膜、真空热阻蒸发制膜、电子束蒸发制膜、射频磁控溅射制膜、薄膜的表征及分析等六个基础实验的内容, 并设计了基于薄膜材料的热电偶制作与标定、类电容器结构薄膜器件制作和薄膜光电探测器制作等三个综合实验项目 ; 下篇为电子陶瓷制备与测试分析, 介绍粉料制备、成型、烧结与电子陶瓷材料结构表征等基础知识, 详细阐述电子基板、介质移相器、热敏电阻、功率电感、微波器件等用电子陶瓷材料制备与测试六个综合实验项目的设计原理、实验方法与步骤、测试分析等内容。

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