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题名/责任者:

激光工艺与微电子技术/В·П·魏柯，С.М.麦捷夫著 吴国安，邓存熙译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,1997

ISBN及定价:

7-118-01641-1/CNY25.00

载体形态项:

430页;20cm

并列正题名:

Лазерные технологиив микро электронике

个人责任者:

魏柯 (Вейко, В. П.) 编著

个人责任者:

麦捷夫 (Метев, С. М.) 编著

个人次要责任者:

吴国安 (微电子技术)

个人次要责任者:

邓存熙 (物理学) 译

学科主题:

激光光学加工技术-应用-微电子技术

中图法分类号:

TN405

科图法分类号:

73.75

科图法分类号:

TN405

一般附注:

译自:Лазерные технологиив микро электронике

书目附注:

书目：第411-430页

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