MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- 飞秒激光共振吸收微纳制造机理与实验研究/赵新宇著
- 出版发行项:
- 长沙:湖南科学技术出版社,2022.01
- ISBN及定价:
- 978-7-5710-1019-5/CNY98.00
- 载体形态项:
- 157页:图;24cm
- 个人责任者:
- 赵新宇 著
- 学科主题:
- 微电子技术-纳米技术-应用-飞秒激光-激光加工-研究
- 中图法分类号:
- TG665
- 提要文摘附注:
- 本书主要针对一种基于入射激光光子能量与被加工靶材电子跃迁能级差相等或相近时能够有效提高飞秒激光精密加工效率的共振吸收效应制造方法，进行了电子动力学仿真的机理研究和烧蚀效率实验研究，以阐明共振吸收制造的微观机理，同时探究该方法在实际工程应用中的影响因素和加工规律。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TG665/Z897 | 004231017 |  工业技术书库
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可借 | 工业技术书库 | |
| TG665/Z897 | 004231018 | 工业技术书库
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可借 | 工业技术书库 | |
| TG665/Z897 | 004231019 | 工业技术书库
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可借 | 工业技术书库 |
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